當前位置:鄭州科佳電爐有限公司>>產品展示>>化學氣相沉積系統(CVD)>>等離子增強CVD系統(PECVD)
產品介紹:PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜
產品介紹:卷對卷式PECVD是等離子增強型化學氣相沉積設備(PECVD),并加裝了收放卷裝置
產品介紹:該產品是由射頻電源、氣體質子流量控制系統、襯底控溫系統、真空系統組成,適用于室溫至1200℃條件下進行SiO2、SiNx薄膜的沉積,同時可實現TEOS...
產品描述:KJ-T1200PECVD是一種PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統,它由500W射頻電源、帶有200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空...
產品介紹:等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜技術生長的一種系的制備技術
產品介紹:KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統、質量流量計氣路系統、等離子電源系統組成
KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S多路混氣管式PECVD系統,由KJ-T1200單溫區管式爐、真空系統、質子流量計、射頻電源系統系統組成
產品用途:PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜
產品介紹:六通道高真空PECVD系統是一款由1200度管式爐,等離子射頻電源,分子泵高真空,六通道氣路等組成的等離子化學氣相沉積系統,加熱腔體采用氧化鋁纖維制品...
產品介紹:滑道式PECVD系統由PT-1200T管式爐加熱系統、真空系統、質量流量計供氣系統、等離子射頻電源系統組成
產品介紹:該設備是一款帶有預熱系統的滑動PECVD系統
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